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中微5nm刻蚀机为我国芯片制造业奠定中国底气

作者:校联办    发表时间:2023-02-02    浏览次数:4070  次

       1月31日,世界级刻蚀巨头——中微半导体设备(上海)股份有限公司发布2022年度业绩预告。在79岁的尹志尧先生带领下,中微公司因主打产品等离子体刻蚀设备是除光刻机外最关键、工艺难度最高的半导体前道加工设备,在国际最先进的 5nm芯片生产线及下一代更先进的生产线上均实现了多次批量销售,且疫情时期“封控不停产,营运零感染”,2022年营收和新签订单金额均同比增长50%以上,继续为我国芯片制造业奠定中国底气。

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       尹志尧先生的祖父尹寿松是我校首届毕业生。尹寿松(1881-1938年),字秀峰,桐城人,开明人士,在桐城学堂开办初入校就读,后去日本学习铁道工程技术。1915年-1919年任怀德县知事。1920年-1924年任梨树县知事期间, 勘验民地,治理河沟,修筑桥梁,方便交通;为抵制日本帝国主义经济侵略,扶持发展民族工商业;发起创办苗圃、电灯。1925年调任热河省政务厅长,为当地民族经济发展做出重要贡献。1936年就职于冀察政务委员会的外交委员会。1938年8月受抗战名将马占山之邀北上赴蒙旗参加抗战,积极献身于爱国民族解放事业。

       尹志尧先生,1944年出生,1968年毕业于中国科学技术大学化学物理系,1980年前往美国加利福尼亚大学洛杉矶分校留学,并获得物理化学博士学位。1983年以工程师身份供职于硅谷英特尔公司、英特尔中心研究开发部。1986年加入泛林集团(LAM),仅花了5年时间,就带领其成为全球最大的刻蚀机公司,后入职应用材料公司(AMAT)。

       尹志尧小时候就被祖父和父亲言传身受,耳濡目染,对祖国有着浓厚感情,怀着一腔爱国之心和积累的经验知识,毫不留恋在当时发展强劲的异国他乡,在事业上升期毅然决然地回国创业。2004年,60岁的尹志尧决定辞去AMAT副总裁职务回国,美国谨慎搜查,确保他没有携带相关资料才允许他回国。回国后,他带领自己的15人团队,利用了自己的技术、人脉、管理能力,结合中国的资金和市场,在上海创办中微半导体设备有限公司(AMEC),发明国产刻蚀机,冲破美国技术垄断,逐渐成长为世界级刻蚀巨头。2007年,中微公司制造出了中国第一代介质刻蚀机,功能不输于国外同类产品,打破国外刻蚀机垄断时代。2015年,美国撤掉针对中国的刻蚀机设备出口控制。2018年,中微公司率先突破5nm刻蚀技术,在业界引发轰动。2021年4月,尹志尧在杨澜访谈录节目《逐风者》中透露,中微公司3nm刻蚀机Alpha原型机的设计、制造、测试及初步的工艺开发和评估等系列工作已完成,“我们的刻蚀机其实已经刻到一两个原子这样的准确度”。

       归国后,尹志尧先生率领团队日夜兼程,苦拼十几载,终于将中微公司推到了全球刻蚀设备五大供应商之列,彻底填补了国产高端蚀刻设备的空白。截至2021年底,中微累计申请专利2012项,其中发明专利高达1741项,实用新型专利251项,其余专利20项,发明专利占比近90%,值得一提的是,仅尹志尧先生个人,就斩获了400多项国内外专利,一流的研发实力与智慧成果产出能力,成了中微乃至中国刻蚀领域最大的底气。

       尹志尧先生继承了祖父勤奋务实、开拓进取、胸怀天下的醇厚品质,虽长在异乡,但心系桑梓。2022年10月30日,尹志尧先生亲临我校120周年校庆庆典现场,并于庆典结束后,为师生作了一场精彩的演讲。演讲中,他深情地回顾了其祖父为革命为国家积极奔走,上下求索,波澜壮阔的一生,生动地讲述了集成电路和半导体设备产业的重要性、发展趋势及第三次工业革命,聆听演讲的师生兴致勃勃,颇受震撼。演讲结束后,尹先生郑重地将中微公司生产的刻蚀机模型赠予我校校史馆珍藏,并和师生合影留念。

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       尹志尧先生对国家的热爱,对科技报国、勉成国器精神的传承,值得我们每一位“桐中人”学习。

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